PZT压电薄膜

工作原理

• 优异的薄膜性能

        D31约230；E31约18

        相对介电常数 900

        膜厚均匀性约2.2%，应力-50MPa

• 在MEMS工艺流程中集成PZT
• 相匹配的全流程工艺
• 丰富的PZT产品开发经验

         微镜，喷墨头，Speaker，PMUT

2um PZT PE Curve