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苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司(苏州MEMS中试量产服务平台),是国内领先的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地,MEMS工艺集成创新和工程化方面成果显著,具有卓越的组织管理能力。
平台现有3000平方米高标准洁净厂房,总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。自2014年8月产品通线以来,导入客户一百余家,累计支撑客户完成400余颗项目开发,涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器、温度传感器等项目,实现单月产出5000片晶圆等一系列辉煌成绩。公司营收逐年增长,已成为国内MEMS代工的中坚力量。