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热氧化&退火&化学气相沉积

 

ASM&Tempress

低压沉积：LPPOLY LPTEOS LPSIN；均匀度<1.5%；Stress:大范围可调

热氧化： TOX; 均匀度<2%；Stress:-260MPa
 

高温炉管：最高1200℃，精度±1 ℃

真空OVEN：最高450 ℃，氧含量<10ppmr

创建时间：2024-11-05 17:52
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