双面对准曝光机

对准精度：正面±1um     背面±1.5um         
CD均匀度<3%

2024-11-05

步进式曝光机

最小分辨率：0.35um       
对准精度：0.12um        
CD均匀度<3%

2024-11-05

涂胶显影一体机

大范围可控：正胶膜厚   负胶膜厚      
LOR胶，PI胶，电镀负胶，正胶

2024-11-05